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2022.06.07
습식식각 대상에 대한 Etchant / 주요 Etchant 와 제조사
[미래에셋증권 김영건] Promising Wafer: 전략 자원에 대한 기술적 접근
국내의 대표적인 Wet Etchant 제조사는 솔브레인이다. HF, BOE 뿐만 아니라 HSN H3PO4를 생산하고 있다. 삼성전자의 GAA용 Si/SiGe Selective Etchant 또한 솔브레인이 공급할 가능성이 높다. 이엔에프테크놀로지의 경우에도 솔브레인과 유사한 Etchant 포트폴리오를 공급하고 있으나, H3PO4에서 일부 제품의 차이가 있다. 불소화합물 전문 회사인 후성도 반도체용 HF를 생산하고 있으며, SK머티리얼즈도 신사업의 일환으로 Wet Etchant에 대한 진출을 시도중이다.
사용량 면에서 HF보다 많은 H2O2의 경우 국내에서는 한솔케미칼이 대표적인 제조사이다. 특히, 새로 채용될 것으로 예상되는 GAA향 Etchant에 H2O2의 사용량이 매우 많으며, Nano Sheet가 얇아질수록 H2O2의 비중은 더욱 커질 것으로 예상된다. 단, Wet Etchant의 경우 소자 업자가 직접 레시피를 배합하는 것은 아니기에, 솔브레인 등 HF 제조사를 통해 공급될 가능성이 높다고 판단한다
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