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2022.06.07
주요 식각 Gas와 제조사 / 건식식각 대상에 대한 Etching Gas
[미래에셋증권 김영건] Promising Wafer: 전략 자원에 대한 기술적 접근
대표적인 Etching Gas 제조사 및 판매사는 Kanto Denka, Showa Denko, ADEKA 등 일본계 업체들과 Merck 등 글로벌 업체들의 경우 대부분의 Etching Gas 라인업을 갖추고 있다. 국내의 경우에는 사용빈도가 높은 CF계 소재를 국산화 해 생산하는 경우가 많으며, 특히 염소(Cl2)계 Gas의 경우 유독성의 이유로 국내 업체들이 생산하는 경우는 드물다.
SK(SK쇼와덴코)와 후성은 CF계 Gas를 생산하고, 원익머트리얼즈는 SiF6와 SiCl4, 오션브릿지는CF4, HBr을 각각 생산 및 유통한다. NF3의 경우 식각 능력이 있으나, 식각의 용도보다는 Chamber 세정용으로 사용되는 경우가 많고 SK머티리얼즈가 글로벌 생산능력 1위로 생산하고 있다.
비록 매출 비중이 작음에도 불구하고 업체의 소재별 판매 라인업을 파악하고 있어야 하는 이유는,특수가스의 경우 언제 어떻게 공급망의 변화가 생길 지 예측하기 어렵기 때문이다. 반도체 생산을 멈출 수 없기에 즉각적인 이원화 또는 반사수혜가 가능한 영역이고, 이를 위해서는 사전에 소량이라도 Qualification을 득한 업체에 기회가 돌아가기 때문이다. 한일 소재 사태 때의 HF, PR 이슈와, 금번 러시아-우크라이나 사태의 여파로 원익머트리얼즈의 Xe 가스가 주목을 받은 사례가 대표적이다.
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