2021.02.23 전자현미경과 원자형미경 비교, 현미경 시장 현황
[삼성증권 배현기] 기회는 제 4의 공정에 있다

전자현미경 시장과 새롭게 등장하는 원자현미경 시장 


Ebeam 을 활용한 전자현미경은 과거 CD시장에서 주로 사용되어 왔으나 , 패턴결험검사 Inspe ction) 나 Review 단에서의 시장은 지속 확대되어 가고 있다 . 해당시장에서는 일본의 Hitachi 가 강자이다 . 광학의 강자 KLA 또한 전자현미경 라인업을 확보하며 해당 시장을 준비하고 있다. 

또한 전자현미경에서도 여전히 검출하지 못하는 미세화된 Layer 단에서의 defect 들이 많다고 추정된다. 이에 따라 새롭게 원자현미경 (AFM, Atomic Force microscope) 이 진입하고 있으며 방향성은 명확해 보인다. 원자현미경은 점차 해당 시장 내 침투를 확대해 나갈 것이다. 다만 여전히 속도가 느리기 때문에 쓰루풋 처리량 에 대한 개선은 지속 필요할 것이다

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