전체
반도체
반도체소재부품
반도체장비
차/전력반도체
후공정/기판
2차전지
2차전지소재
2차전지장비
폐배터리
자동차
자동차부품
디스플레이
전기전자
수소
신재생에너지
원자력
에너지/원자재
5G/통신
자율주행
AI/AR/VR
로봇
항공/우주/방위
UAM
철강
비철금속
화장품/유통
여행/카지노
음식료
의류신발
폐기물
플라스틱
미용/의료기기
조선/해운
인터넷/보안
게임
엔터/미디어
정유/화학
건설
기계/유틸
투자관련
경제/통계
기타
2024.3Q 분기별 매출액 성장 2024.3Q 분기별 영업이익 성장 2024.3Q 분기별 수주잔고 성장 2024.3Q 8주에 80%이상 상승 2024.3Q 신저가대비 100%이상 상승 2024.3Q 50일신고가+신저가대비 70%이상 2024.3Q 2주에 15%이상 하락
2024.3Q 분기별 매출액 성장 2024.3Q 분기별 영업이익 성장 2024.3Q 분기별 수주잔고 성장 2024.3Q 8주에 80%이상 상승 2024.3Q 신저가대비 100%이상 상승 2024.3Q 50일신고가+신저가대비 70%이상 2024.3Q 2주에 15%이상 하락
2022.05.31
ALE 장비 양산 도입 가시화
[NH투자증권 도현우, 임지용] IMW 2022에서 본 반도체 공정 트렌드
DRAM에서 ALE는 전하 저장 커패시터의 형태와 구성을 최적화하는데 사용될 수 있다. DRAM 커패시터용 고유전율 물질은 적정 두께로 성장시킨 후 결정화해야한다. 최근 커패시터 유전막은 두께가 수nm 수준이라 결정화에 어려움을 겪는다. 이경우 비정질 필름으로 유전막을 증착한 다음 결정화하고 ALE 공정을 추가하면 더얇으면서도 높은 커패시턴스를 유지하는 필름을 형성할 수 있다. ALE 장비를 가장 적극적으로 개발하고 있는 회사는 미국의 Lam Research이다.
관련 목록
반도체장비 목록