2022.03.03 한국의 네온/크세논 수입 비중 추이
[신한금융투자 최도연, 고영민, 남궁현] 한국 반도체가 나아갈 길

- 특수 가스의 일종인 네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 포함돼 있지 않은 희귀 가스로, 반도체 노광공정에서 사용되는 엑시머 레이저 가스의 원재료 중 하나다.

- 러시아 철강제조 공정의 부산물로 나오는 이 가스는 우크라이나에서 별도 공정을 거쳐 전 세계에 공급되는 구조다. 특히 네온은 반도체 노광 공정에서 전세계 수요의 70%를 차지할 정도로 반도체 생산에 반드시 필요한 핵심 소재로 통한다

- 실제 반도체 노광 공정 용 불화아르곤 액침(ArF-Immersion) 장비에 투입되는 엑시머 레이저는 네온, 불소, 아르곤 등 특수 가스를 혼합해서 제조된다. 혼합물 중 네온이 95% 이상을 차지하고 있어 네온 수급이 원활하지 않을 경우 반도체 생산 공정에도 차질이 빚어진다.

관련 목록
반도체소재부품 목록