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2021.09.17
식각 장비용 소모성 부품
[신한금융투자 - 최도연] Quality 중소형IT 찾기
Silicon 부품
식각공정에 사용되는 실리콘 소모성 부품은 Electrode, Ring 등이 있다. Electrode는 식각공정에서 Gas를 통과시켜 Wafer 표면에 Plasma가 균일하게 분사돼 미세선을 식각하는 하도록 하는 부품이다.
Ring은 챔버 내에서 상부와 하부에 장착된다. 상부에 장착되는 Guide 링은 Electrode와 Wafer를 평행하게 고정
시켜주는 역할을 수행한다. 하부에 장착되는 Focus 링은 플라즈마가 정확한 위치에 모여지도록 하는 역할을 수행한다. 식각공정에 사용되다 보니 Plasma에 의해 마모되어 일정한 주기로 교체가 필요하다. 최근 미세화 및 고단화 로 고출력 플라즈마를 활용하는 등 공정 강도가 상승하며 점점 교체 주기도 짧아지고 있다.
SiC링
SiC링(실리콘 카바이드)은 Wafer 가장자리에 위치하여 생산수율을 높여주는 역할을 하는 Focus 링으로 주로 사 용된다. SiC링은 다른 부품들과 다르게 Plasma에 대한 내화학성과 내마모성이 좋고 Si, Al 등과의 확산이 없는 것 이 특징이다. 반응소결의 공정을 통한 생산에서 나오는 파티클 문제 해결을 위해 CVD 공정으로 제조하고있으며 시장의 80% 이상을 티씨케이가 독점하고있다.
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